Информация за курс
Технология на микроелектромеханичните системи запознава студентите с технологията на микроелектромеханичните системи, с което създава предпоставки за успешна дейност на студентите в областта на проектиране и производство на микросистеми, включващи електронни механични елементи.
В края на обучението си студента ще:
· може да конструира различни механични и микроелектронни елементи, изграждащи MEMS структурите чрез създаването на цялостен технологичен проект;
· ще познава микроелектромеханични устройства като: микросензори, микроактуатори; микроелмотори; флуидни системи и др.
- Преподавател: Margarita Deneva
- Преподавател: Петър Шиндов